产品功能

Map互动功能：包括Raw Data, Gallery Map, Single Map, Compare Map, Stack Map, Dynamic DSA等。

缺陷数据分析管理：从数据获取到可视化、互动分析、追踪和分类，强化整体缺陷管理。

DSA智能诊断：自动化过程中的DSA(DefectSourceAnalysis)能智能诊断每个缺陷首次出现的工站。

缺陷分布图与照片浏览：便于缺陷改善、人员浏览、比对，以确认缺陷成因。

叠图比较：通过叠图前后层比较，快速找出重复或新增缺陷，缩短追踪时间。

设备机构分析：提供设备机构图案导入，支持CAD和自定义，帮助确认机构导致的缺陷成因。

产品特点

自动化数据处理：实现缺陷数据的集成、整合和标准化。

丰富的分析功能：提高缺陷管理和改善效率。

互动分析界面：提供缺陷晶圆图、缺陷照片和分类统计量等互动分析工具。

生产线支持：支持生产线的缺陷分布和外观检视，提供批量再分类功能。

产品效益

1、快速定位工站和设备造成的缺陷

2、大幅缩短缺陷追踪时间

3、提供一体化的可视化，分析，追踪和分类