Nebula DDMS
芯享产品介绍
DMS系统实时I/F管理FAB产生的Defect,提供工程师实时监控和分析工程中发生的Defect的功能。晶圆图以往只能靠人眼看出趋势自动判定、分类。nDMS图像识别技术能够支持自动晶圆检测分类。
主要功能服务
检测分类：
GDD (Good Dirty Die): 检测为良品，且晶粒上有一颗以上缺陷的晶粒数量
BDD (Bad Dirty Die): 检测为不良品，且晶粒上有一顆以上缺陷的晶粒数量
GCD (Good Clean Die): 检测为良品，且晶粒上无任何缺陷的晶粒数量
BCD (Bad Clean Die): 检测为不良品，且晶粒上无任何缺陷的晶粒数量
效益：
1.迅速定位Defect原因,快速止血
2.全面健检Defect可能生成原因
3.追踪Impact Lot
4.分析Defect生成，建成专家系统
5.分析Defect 与良率相关性，确认Killer Defect
6.Defect案例能够作为知识被传承以及 与同公司不同工厂作经验分享
产品及方案特点
1.统合 Defect 分析，支持Map / Chart / Statistic，支持数据可视化的各种体系
2.Inspection & Review Tool I/F
3.Defect Data 自动化，支持多样的通信协议FTP/NFS/Net Drive/etc
4.Defect 运算 / 监控，支持Random Defect Function(DSA, SRA, DRA, Cluster, etc),支持Automated Defect Recognition（Defect 属性, RDF结果 ）
5.Defect 分流 & group化
6.Defect Sampling
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