• home
  • 返回

Nebula DDMS

芯享产品介绍

Nebula DDMS

DMS系统实时I/F管理FAB产生的Defect,提供工程师实时监控和分析工程中发生的Defect的功能。晶圆图以往只能靠人眼看出趋势自动判定、分类。nDMS图像识别技术能够支持自动晶圆检测分类。

主要功能服务

检测分类:

GDD (Good Dirty Die): 检测为良品,且晶粒上有一颗以上缺陷的晶粒数量

BDD (Bad Dirty Die): 检测为不良品,且晶粒上有一顆以上缺陷的晶粒数量

GCD (Good Clean Die): 检测为良品,且晶粒上无任何缺陷的晶粒数量

BCD (Bad Clean Die): 检测为不良品,且晶粒上无任何缺陷的晶粒数量


效益:

1.迅速定位Defect原因,快速止血 

2.全面健检Defect可能生成原因

3.追踪Impact Lot

4.分析Defect生成,建成专家系统

5.分析Defect 与良率相关性,确认Killer Defect

6.Defect案例能够作为知识被传承以及 与同公司不同工厂作经验分享


产品及方案特点

1.统合 Defect 分析,支持Map / Chart / Statistic,支持数据可视化的各种体系

2.Inspection & Review Tool I/F

3.Defect Data 自动化,支持多样的通信协议FTP/NFS/Net Drive/etc

4.Defect 运算 / 监控,支持Random Defect Function(DSA, SRA, DRA, Cluster, etc),支持Automated Defect Recognition(Defect 属性, RDF结果 )

5.Defect 分流 & group化

6.Defect Sampling


上一篇:星云战情室
下一篇:Nebula FABViewOEE

电话: 0510-83739999    地址:江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号C1栋9楼

Copyright © 2020-2023 无锡芯享信息科技有限公司 版权所有  备案号:苏ICP备20003728号  技术支持:苏州网站建设  

电话: 0510-83739999

地址:江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号C1栋9楼

备案号:苏ICP备20003728号

技术支持:苏州网站建设