光罩盒货架
芯享产品介绍
用于半导体工厂精准定位光罩盒,实时显示光罩盒信息及关联wafer Lot信息,解决产线人工查找光罩盒费时费力且不准确问题,为生产管理者提供实时光罩盒状态,提高光罩盒的使用周转率。
主要功能服务
主要用途：1.用于存放光罩盒，并实时监控光罩盒状态
2.实时显示光罩盒关联wafer Lot信息
适用范围：适用于半导体晶圆厂实时追踪光罩盒状态
产品及方案特点
1、实时监控和上报光罩盒状态
2、同类型设备快速复制部署
3、根据三色灯直观判断物料状态
4、可查询光罩盒的日志信息，根据Mask_ID查询具体的出入库信息
5、可通过API形式与MES，ERP，EAP等系统进行交互
