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光罩盒货架

芯享产品介绍

光罩盒货架

用于半导体工厂精准定位光罩盒,实时显示光罩盒信息及关联wafer Lot信息,解决产线人工查找光罩盒费时费力且不准确问题,为生产管理者提供实时光罩盒状态,提高光罩盒的使用周转率。

主要功能服务

主要用途:1.用于存放光罩盒,并实时监控光罩盒状态

                2.实时显示光罩盒关联wafer Lot信息

适用范围:适用于半导体晶圆厂实时追踪光罩盒状态


产品及方案特点

1、实时监控和上报光罩盒状态

2、同类型设备快速复制部署

3、根据三色灯直观判断物料状态

4、可查询光罩盒的日志信息,根据Mask_ID查询具体的出入库信息

5、可通过API形式与MES,ERP,EAP等系统进行交互


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电话: 0510-83739999    地址:江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号C1栋9楼

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