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Nebula EAP

芯享产品介绍

Nebula EAP

nEAP产品的核心业务是解决半导体生产设备的自动化数据通讯、数据分析、自动化控制以及与上层CIM系统进行交互,以帮助半导体工厂提高产品良率为核心目标,提高管理效能,赋能半导体产业企业管理。

nEAP产品技基于.NET6架构,采用微服务方式实现业务核心,拥有易于扩展,稳定性高,跨平台,便于部署和支持二次开发的优点。

主要功能服务

1、与MES系统整合,自动校验产品生产信息和Recipe,自动做账(Track In/Track Out)。

2、与设备控制系统整合,Load/Unload Cassette, 选择Recipe,控制设备自动进行生产,同时跟踪产品整个的生产过程。

3、与RMS等系统整合,校验Recipe参数和微调Recipe参数。

4、与FDC系统整合,实时采集生产过程中的制程数据和设备参数数据。

5、实时采集设备状态数据和警报信息。

6、提供EAP Monitor工具监控、维护EAP系统。


产品及方案特点

  • 集成管理:支持多种通信协议及提供集成建模器,支持热更新,支持集群管理

  • 通用驱动:针对于多种通信协议(PLC/OPC/SECS/CNC/GPIB/TTL等)的驱动、模拟、建模

  • 实时监控:对服务器,应用程序,设备,资源的监控与Fail Over

  • 工作流:可视化的 Web框架建模工具


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